حالات وحلول أشباه الموصلات والرقائق

/حلول-حالات-أشباه الموصلات والرقائق/
/حلول-حالات-أشباه الموصلات والرقائق/
/حلول-حالات-أشباه الموصلات والرقائق/
/حلول-حالات-أشباه الموصلات والرقائق/

تُستخدم أنظمة تبريد النيتروجين السائل على نطاق واسع في صناعة أشباه الموصلات والرقائق، بما في ذلك عملية،

  • تقنية الشعاع الجزيئي (MBE)
  • اختبار الشريحة بعد حزمة COB

منتجات ذات صله

الشعاع الجزيئي

تم تطوير تقنية الشعاع الجزيئي (MBE) في الخمسينيات من القرن الماضي لتحضير مواد رقيقة من أشباه الموصلات باستخدام تقنية التبخر الفراغي.مع تطور تكنولوجيا التفريغ الفائق، تم توسيع تطبيق التكنولوجيا ليشمل مجال علوم أشباه الموصلات.

لاحظت شركة HL الطلب على نظام تبريد النيتروجين السائل MBE، والعمود الفقري الفني المنظم لتطوير نظام تبريد خاص بالنيتروجين السائل MBE لتكنولوجيا MBE ومجموعة كاملة من نظام الأنابيب المعزولة بالفراغ، والذي تم استخدامه في العديد من المؤسسات والجامعات ومعاهد البحوث بنجاح. .

تشمل المشاكل الشائعة لصناعة أشباه الموصلات والرقائق ما يلي:

  • ضغط النيتروجين السائل في المعدات الطرفية (MBE).منع الحمل الزائد للضغط من إتلاف المعدات الطرفية (MBE).
  • أدوات تحكم متعددة في مدخل ومخرج السائل المبرد
  • درجة حرارة النيتروجين السائل في المعدات الطرفية
  • كمية معقولة من انبعاثات الغازات المبردة
  • (تلقائي) تبديل الخطوط الرئيسية والفرعية
  • تعديل الضغط (تقليل) واستقرار VIP
  • تنظيف الشوائب المحتملة وبقايا الجليد من الخزان
  • وقت ملء المعدات السائلة الطرفية
  • التبريد المسبق لخطوط الأنابيب
  • مقاومة السائل في نظام VIP
  • السيطرة على فقدان النيتروجين السائل أثناء الخدمة المتقطعة للنظام

تم تصميم الأنابيب المعزولة بالفراغ (VIP) من HL وفقًا لرمز أنابيب الضغط ASME B31.3 كمعيار قياسي.الخبرة الهندسية والقدرة على مراقبة الجودة لضمان كفاءة وفعالية التكلفة لمصنع العميل.

حلول

توفر HL Cryogenic Equipment للعملاء نظام الأنابيب المعزولة بالفراغ لتلبية متطلبات وشروط صناعة أشباه الموصلات والرقائق:

1. نظام إدارة الجودة: رمز أنابيب الضغط ASME B31.3.

2. فاصل الطور الخاص مع مدخل ومخرج سائل مبرد متعدد مع وظيفة التحكم الآلي يلبي متطلبات انبعاث الغاز والنيتروجين السائل المعاد تدويره ودرجة حرارة النيتروجين السائل.

3. يضمن تصميم العادم المناسب وفي الوقت المناسب أن المعدات الطرفية تعمل دائمًا ضمن قيمة الضغط المصممة.

4. يتم وضع حاجز الغاز السائل في الأنبوب الرأسي VI في نهاية خط الأنابيب VI.يستخدم حاجز الغاز السائل مبدأ ختم الغاز لمنع الحرارة من نهاية خط الأنابيب VI إلى الأنابيب VI، وتقليل فقدان النيتروجين السائل بشكل فعال أثناء الخدمة المتقطعة والمتقطعة للنظام.

5. الأنابيب VI التي يتم التحكم فيها بواسطة سلسلة الصمامات المعزولة بالفراغ (VIV): بما في ذلك صمام الإغلاق المعزول بالفراغ (الهوائي)، وصمام عدم الرجوع المعزول بالفراغ، وصمام التنظيم المعزول بالفراغ وما إلى ذلك. يمكن دمج أنواع مختلفة من VIV للتحكم في VIP مثل مطلوب.تم دمج VIV مع التصنيع المسبق لكبار الشخصيات في الشركة المصنعة، دون معالجة معزولة في الموقع.يمكن استبدال وحدة الختم الخاصة بـ VIV بسهولة.(تقبل شركة HL العلامة التجارية للصمام المبرد المعين من قبل العملاء، ومن ثم تقوم بتصنيع الصمامات المعزولة بالفراغ بواسطة HL. قد لا تكون بعض العلامات التجارية ونماذج الصمامات قادرة على تحويلها إلى صمامات معزولة بالتفريغ.)

6. النظافة، إذا كانت هناك متطلبات إضافية لنظافة سطح الأنبوب الداخلي.من المقترح أن يختار العملاء الأنابيب الفولاذية المقاومة للصدأ BA أو EP كأنابيب داخلية VIP لتقليل انسكاب الفولاذ المقاوم للصدأ بشكل أكبر.

7. مرشح معزول بالفراغ: قم بتنظيف الشوائب المحتملة وبقايا الجليد من الخزان.

8. بعد بضعة أيام أو أطول من إيقاف التشغيل أو الصيانة، من الضروري جدًا التبريد المسبق لأنابيب VI والمعدات الطرفية قبل إدخال السائل المبرد، وذلك لتجنب خبث الجليد بعد دخول السائل المبرد مباشرة إلى أنابيب VI والمعدات الطرفية.وينبغي النظر في وظيفة التبريد المسبق في التصميم.إنه يوفر حماية أفضل للمعدات الطرفية ومعدات دعم الأنابيب VI مثل الصمامات.

9.Suit لكل من نظام الأنابيب الديناميكي والثابت المعزول بالفراغ (المرن).

10. نظام الأنابيب الديناميكي المعزول بالفراغ (المرن): يتكون من خراطيم مرنة VI و/أو أنابيب VI، وخراطيم وصلة، ونظام الصمام المعزول الفراغي، وفواصل الطور، ونظام مضخة التفريغ الديناميكية (بما في ذلك مضخات التفريغ، وصمامات الملف اللولبي، وأجهزة قياس التفريغ، إلخ. ).يمكن تخصيص طول الخرطوم المرن VI وفقًا لمتطلبات المستخدم.

11. أنواع الاتصال المختلفة: يمكن تحديد نوع اتصال حربة الفراغ (VBC) والاتصال الملحوم.لا يحتاج النوع VBC إلى معالجة معزولة في الموقع.