أشباه الموصلات وحالات الرقائق والحلول

/أحكام أشباه الموصلات والسكان/
/أحكام أشباه الموصلات والسكان/
/أحكام أشباه الموصلات والسكان/
/أحكام أشباه الموصلات والسكان/

تستخدم أنظمة تبريد النيتروجين السائل على نطاق واسع في صناعة أشباه الموصلات والرقائق ، بما في ذلك عملية ،

  • تقنية الحزمة الجزيئية Epitaxy (MBE)
  • اختبار الشريحة بعد حزمة COB

المنتجات ذات الصلة

شعاع الجزيئي epitaxy

تم تطوير تكنولوجيا الحزمة الجزيئية Epitaxy (MBE) في الخمسينيات من القرن الماضي لإعداد مواد فيلم رقيقة أشباه الموصلات باستخدام تقنية تبخر الفراغ. مع تطوير تكنولوجيا الفراغ الفائقة ، تم تمديد تطبيق التكنولوجيا إلى مجال علوم أشباه الموصلات.

لاحظت HL طلب نظام تبريد النيتروجين السائل MBE ، والعمود الفقري الفني المنظم لتطوير نظام MBE السائل النيتروجين الخاص بنجاح لتكنولوجيا MBE ومجموعة كاملة من نظام الأنابيب المعزول الفراغي ، والذي تم استخدامه في العديد من المؤسسات والجامعات ومعاهد البحث .

تشمل المشاكل الشائعة لصناعة أشباه الموصلات والرقائق ،

  • ضغط النيتروجين السائل في معدات الطرفية (MBE). منع الضغط الزائد من معدات الطرفية الضارة (MBE).
  • عدة عناصر التحكم في مدخل السائل المبرد والمخرج
  • درجة حرارة النيتروجين السائل في المعدات الطرفية
  • كمية معقولة من انبعاثات الغاز المبردة
  • (تلقائي) تبديل الخطوط الرئيسية والفرع
  • تعديل الضغط (تقليل) واستقرار VIP
  • تنظيف الشوائب المحتملة وبقايا الجليد من الخزان
  • وقت ملء المعدات السائلة الطرفية
  • خط الأنابيب قبل
  • مقاومة السائل في نظام VIP
  • السيطرة على فقدان النيتروجين السائل أثناء الخدمة المتقطعة للنظام

تم تصميم أنبوب HL المعزول (VIP) إلى رمز أنابيب الضغط ASME B31.3 كمعيار. الخبرة الهندسية وقدرة مراقبة الجودة لضمان كفاءة وفعالية التكلفة لمصنع العميل.

الحلول

توفر المعدات المبردة HL للعملاء نظام الأنابيب المعزول بالفراغ لتلبية متطلبات وظروف صناعة أشباه الموصلات والرقائق:

1. نظام إدارة الجودة: رمز أنابيب الضغط ASME B31.3.

2. فاصل طور خاص مع مدخل سائل مبرد ومخرج مع وظيفة تحكم تلقائية تلبي متطلبات انبعاث الغاز والنيتروجين السائل المعاد تدويره ودرجة حرارة النيتروجين السائل.

3. يضمن تصميم العادم الكافي في الوقت المناسب أن تعمل المعدات الطرفية دائمًا ضمن قيمة الضغط المصممة.

4. يتم وضع حاجز الغاز السائل في أنبوب VI العمودي في نهاية خط أنابيب VI. يستخدم حاجز الغاز السائل مبدأ ختم الغاز لمنع الحرارة من نهاية خط أنابيب VI إلى أنابيب VI ، ويقلل بشكل فعال من فقدان النيتروجين السائل أثناء الخدمة المتقطعة والمتقطعة للنظام.

5.VI الأنابيب التي تتحكم فيها سلسلة الصمام المعزول الفراغ (VIV): بما في ذلك صمام الإغلاق المعزول (الهوائي) ، صمام الفحص المعزول الفراغي ، صمام تنظيم معزول الفراغ ، إلخ. مطلوب. تم دمج VIV مع التقييم المسبق لكبار الشخصيات في الشركة المصنعة ، دون علاج معزول في الموقع. يمكن استبدال وحدة ختم VIV بسهولة. (تقبل HL العلامة التجارية الصمام المبردة المعينة من قبل العملاء ، ثم تصنع صمامات معزولة بالفراغ بواسطة HL. قد لا تكون بعض العلامات التجارية ونماذج الصمامات قادرة على تحويلها إلى صمامات معزولة.)

6. الانحراف ، إذا كانت هناك متطلبات إضافية للنظافة السطحية للأنبوب الداخلي. يُقترح أن يختار العملاء أنابيب BA أو EP من الفولاذ المقاوم للصدأ كأنابيب داخلية VIP لتقليل الانسكاب الفولاذ المقاوم للصدأ.

7.vacuum مرشح معزول: قم بتنظيف الشوائب المحتملة وبقايا الجليد من الخزان.

8. بعد بضعة أيام أو أطول من الإغلاق أو الصيانة ، من الضروري للغاية أن تسبق أنابيب السادس والمعدات الطرفية قبل إدخال السائل المبرد ، وذلك لتجنب الخبث الجليدي بعد دخول السائل المبرد مباشرة إلى أنابيب VI ومعدات الطرفية. يجب النظر في الوظيفة المسبقة في التصميم. يوفر حماية أفضل للمعدات الطرفية ومعدات دعم أنابيب السادس مثل الصمامات.

9.Suit لكل من نظام الأنابيب المعزول (المرن) الفراغي الديناميكي والثابت.

10. نظام الأنابيب المعزول (المرن) المعزول (المرن): يتكون من خراطيم VI و/أو أنابيب السادس ، وخراطيم الطائر ، ونظام الصمام المعزول بالفراغ ، وفواصل الطور ، ونظام مضخة الفراغ الديناميكية (بما في ذلك مضخات الفراغ ، والصمامات الملفات الفرعية ، ومقاييس الفراغ ، إلخ. ). يمكن تخصيص طول خرطوم المرن الفردي VI وفقًا لمتطلبات المستخدم.

11. أنواع الاتصال المتكررة: يمكن تحديد نوع اتصال حربة الفراغ (VBC) والاتصال الملحوم. نوع VBC لا يحتاج إلى علاج معزول في الموقع.


اترك رسالتك