



تُستخدم أنظمة تبريد النيتروجين السائل على نطاق واسع في صناعة أشباه الموصلات والرقائق، بما في ذلك عملية،
- تقنية الحزم الجزيئية (MBE)
- اختبار الشريحة بعد حزمة COB
المنتجات ذات الصلة
التراكم الجزيئي للحزمة
طُوّرت تقنية الترابط الشعاعي الجزيئي (MBE) في خمسينيات القرن الماضي لتحضير مواد أغشية رقيقة من أشباه الموصلات باستخدام تقنية التبخير الفراغي. ومع تطور تقنية التفريغ الفائق، اتسع نطاق تطبيق هذه التقنية ليشمل مجال علوم أشباه الموصلات.
لقد لاحظت شركة HL الطلب على نظام تبريد النيتروجين السائل MBE، ونظمت العمود الفقري التقني لتطوير نظام تبريد النيتروجين السائل MBE الخاص بنجاح لتكنولوجيا MBE ومجموعة كاملة من نظام الأنابيب المعزولة بالفراغ، والذي تم استخدامه في العديد من الشركات والجامعات ومعاهد البحوث.
تتضمن المشاكل الشائعة في صناعة أشباه الموصلات والرقائق ما يلي:
- ضغط النيتروجين السائل في معدات الطرفية (MBE). منع الحمل الزائد للضغط من إتلاف معدات الطرفية (MBE).
- عناصر تحكم متعددة في مدخل ومخرج السائل المبرد
- درجة حرارة النيتروجين السائل في المعدات الطرفية
- كمية معقولة من انبعاثات الغاز المبردة
- التحويل (التلقائي) للخطوط الرئيسية والفرعية
- ضبط الضغط (تخفيضه) واستقرار VIP
- تنظيف الشوائب المحتملة وبقايا الجليد من الخزان
- وقت ملء معدات السائل الطرفية
- التبريد المسبق لخطوط الأنابيب
- مقاومة السوائل في نظام VIP
- فقدان السيطرة على النيتروجين السائل أثناء الخدمة المتقطعة للنظام
صُممت أنابيب HL المعزولة بالتفريغ (VIP) وفقًا لمعيار ASME B31.3 لأنابيب الضغط. تضمن الخبرة الهندسية والقدرة على مراقبة الجودة كفاءة وفعالية مصنع العميل من حيث التكلفة.
الحلول
توفر شركة HL Cryogenic Equipment للعملاء نظام الأنابيب المعزولة بالفراغ لتلبية متطلبات وشروط صناعة أشباه الموصلات والرقائق:
1. نظام إدارة الجودة: ASME B31.3 رمز أنابيب الضغط.
2. جهاز فصل الطور الخاص مع مدخل ومخرج سائل تبريد متعدد مع وظيفة التحكم التلقائي يلبي متطلبات انبعاث الغاز والنيتروجين السائل المعاد تدويره ودرجة حرارة النيتروجين السائل.
3. يضمن تصميم العادم المناسب وفي الوقت المناسب أن تعمل المعدات الطرفية دائمًا ضمن قيمة الضغط المصممة.
٤. يُوضع حاجز الغاز السائل في الأنبوب الرأسي ذي الضغط المتغير (VI) عند نهايته. يستخدم حاجز الغاز السائل مبدأ مانع تسرب الغاز لمنع الحرارة من نهاية الأنبوب إلى الأنابيب، مما يُقلل بشكل فعال من فقدان النيتروجين السائل أثناء انقطاع الخدمة أو انقطاعها.
5. سلسلة أنابيب VI المُتحكم بها بواسطة صمامات العزل الفراغي (VIV): تشمل صمامات الإغلاق المعزولة بالتفريغ (الهوائية)، وصمامات الفحص المعزولة بالتفريغ، وصمامات التنظيم المعزولة بالتفريغ، وغيرها. يمكن دمج أنواع مختلفة من صمامات VIV في وحدات للتحكم في صمامات VIP حسب الحاجة. يتم دمج صمام VIV مع تصنيع صمامات VIP المُسبق في الشركة المُصنعة، دون الحاجة إلى معالجة العزل في الموقع. يمكن استبدال وحدة الختم الخاصة بصمام VIV بسهولة. (تقبل شركة HL علامة صمام التبريد التي يحددها العملاء، ثم تُصنّع صمامات العزل الفراغي من قِبلها. قد لا تُصنع بعض العلامات التجارية والموديلات من الصمامات كصمامات معزولة بالتفريغ.)
٦. النظافة، في حال وجود متطلبات إضافية تتعلق بنظافة سطح الأنبوب الداخلي. يُنصح العملاء باختيار أنابيب الفولاذ المقاوم للصدأ BA أو EP كأنابيب داخلية VIP لتقليل انسكاب الفولاذ المقاوم للصدأ.
7. مرشح معزول بالفراغ: قم بتنظيف الشوائب المحتملة وبقايا الجليد من الخزان.
٨. بعد بضعة أيام أو أكثر من التوقف أو الصيانة، من الضروري جدًا تبريد أنابيب VI والمعدات الطرفية مسبقًا قبل دخول السائل المبرد، وذلك لتجنب تكوّن خبث الجليد بعد دخول السائل المبرد مباشرةً إلى أنابيب VI والمعدات الطرفية. يجب مراعاة وظيفة التبريد المسبق عند التصميم، فهي توفر حماية أفضل للمعدات الطرفية ومعدات دعم أنابيب VI، مثل الصمامات.
9. مناسب لنظام الأنابيب المعزولة بالفراغ (المرنة) الديناميكي والثابت.
١٠. نظام أنابيب ديناميكي معزول بالتفريغ (مرن): يتكون من خراطيم مرنة معزولة بالتفريغ و/أو أنابيب معزولة بالتفريغ، وخراطيم توصيل، ونظام صمام معزول بالتفريغ، وفواصل طور، ونظام مضخة تفريغ ديناميكي (يشمل مضخات التفريغ، وصمامات الملف اللولبي، ومقاييس التفريغ، إلخ). يمكن تخصيص طول خرطوم مرن واحد معزول بالتفريغ وفقًا لمتطلبات المستخدم.
١١. أنواع توصيلات متنوعة: يمكن اختيار نوع التوصيل بالحربة الفراغية (VBC) والتوصيل الملحوم. لا يتطلب نوع VBC عزلًا في الموقع.