تُستخدم أنظمة التبريد بالنيتروجين السائل على نطاق واسع في صناعة أشباه الموصلات والرقائق، بما في ذلك عملية،
- تقنية الترسيب الجزيئي الشعاعي (MBE)
- اختبار الشريحة بعد تغليفها بتغليف COB
المنتجات ذات الصلة
الترسيب الجزيئي الشعاعي
طُوّرت تقنية الترسيب الجزيئي الشعاعي (MBE) في خمسينيات القرن الماضي لتحضير مواد الأغشية الرقيقة لأشباه الموصلات باستخدام تقنية التبخير الفراغي. ومع تطور تقنية الفراغ العالي للغاية، امتد تطبيق هذه التقنية ليشمل مجال علوم أشباه الموصلات.
لاحظت شركة HL الطلب على نظام تبريد النيتروجين السائل بتقنية MBE، وقامت بتنظيم البنية التحتية التقنية لتطوير نظام تبريد خاص بتقنية MBE للنيتروجين السائل ومجموعة كاملة من نظام الأنابيب المعزولة بالفراغ، والذي تم استخدامه في العديد من الشركات والجامعات ومعاهد البحوث.
تشمل المشاكل الشائعة في صناعة أشباه الموصلات والرقائق الإلكترونية ما يلي:
- ضغط النيتروجين السائل في معدات المحطة الطرفية (MBE). منع زيادة الضغط من إتلاف معدات المحطة الطرفية (MBE).
- أدوات تحكم متعددة في مدخل ومخرج السائل المبرد
- درجة حرارة النيتروجين السائل الداخل إلى المعدات الطرفية
- كمية معقولة من انبعاثات الغاز المبرد
- التحويل التلقائي للخطوط الرئيسية والفرعية
- ضبط الضغط (تقليله) واستقرار الصمام التاجي ذي الحجم الكبير
- تنظيف الخزان من الشوائب المحتملة وبقايا الجليد
- وقت ملء معدات السائل الطرفية
- التبريد المسبق لخطوط الأنابيب
- مقاومة السوائل في نظام VIP
- التحكم في فقدان النيتروجين السائل أثناء التشغيل المتقطع للنظام
تُصنع أنابيب HL المعزولة بالتفريغ (VIP) وفقًا لمعيار ASME B31.3 لأنابيب الضغط. نمتلك خبرة هندسية وقدرة على مراقبة الجودة لضمان كفاءة مصنع العميل وفعاليته من حيث التكلفة.
الحلول
توفر شركة HL Cryogenic Equipment لعملائها نظام الأنابيب المعزولة بالفراغ لتلبية متطلبات وشروط صناعة أشباه الموصلات والرقائق الإلكترونية:
1. نظام إدارة الجودة: كود أنابيب الضغط ASME B31.3.
2. فاصل طور خاص مزود بمدخل ومخرج سائل تبريد متعدد مع وظيفة تحكم تلقائية يلبي متطلبات انبعاث الغاز، وإعادة تدوير النيتروجين السائل، ودرجة حرارة النيتروجين السائل.
3. يضمن تصميم العادم المناسب وفي الوقت المناسب أن تعمل معدات المحطة دائمًا ضمن قيمة الضغط المصممة.
4. يتم وضع حاجز الغاز والسائل في الأنبوب الرأسي ذي التغليف الفائق عند نهاية خط أنابيب التغليف الفائق. يستخدم حاجز الغاز والسائل مبدأ منع تسرب الغاز لمنع انتقال الحرارة من نهاية خط أنابيب التغليف الفائق إلى داخله، مما يقلل بشكل فعال من فقدان النيتروجين السائل أثناء التشغيل المتقطع وغير المستمر للنظام.
5. نظام أنابيب التحكم بالعزل الفراغي (VIV): يشمل صمامات الإغلاق المعزولة فراغيًا (الهوائية)، وصمامات الفحص المعزولة فراغيًا، وصمامات التنظيم المعزولة فراغيًا، وغيرها. يمكن دمج أنواع مختلفة من صمامات VIV بشكل معياري للتحكم في نظام التحكم بالعزل الفراغي (VIP) حسب الحاجة. يتم دمج صمامات VIV مع نظام التحكم بالعزل الفراغي (VIP) في المصنع، دون الحاجة إلى معالجة العزل في الموقع. يمكن استبدال وحدة منع التسرب في صمامات VIV بسهولة. (تقبل شركة HL علامة الصمامات المبردة التي يحددها العملاء، ثم تقوم بتصنيع الصمامات المعزولة فراغيًا. قد لا يكون من الممكن تصنيع بعض العلامات التجارية والموديلات من الصمامات كصمامات معزولة فراغيًا).
٦- النظافة: في حال وجود متطلبات إضافية لنظافة سطح الأنبوب الداخلي، يُنصح العملاء باختيار أنابيب من الفولاذ المقاوم للصدأ من نوع BA أو EP كأنابيب داخلية عالية الجودة لتقليل انسكاب الفولاذ المقاوم للصدأ.
7. فلتر معزول بالتفريغ: قم بتنظيف الشوائب المحتملة وبقايا الجليد من الخزان.
٨. بعد بضعة أيام أو فترة توقف أو صيانة أطول، من الضروري جدًا تبريد أنابيب نظام التبريد الفائق ومعدات المحطة الطرفية مسبقًا قبل إدخال السائل المبرد، وذلك لتجنب تراكم الجليد بعد دخول السائل المبرد مباشرةً إلى أنابيب نظام التبريد الفائق ومعدات المحطة الطرفية. يجب مراعاة وظيفة التبريد المسبق في التصميم، حيث توفر حماية أفضل لمعدات المحطة الطرفية ومعدات دعم أنابيب نظام التبريد الفائق، مثل الصمامات.
9. مناسب لأنظمة الأنابيب المعزولة بالفراغ (المرنة) الديناميكية والثابتة.
10. نظام أنابيب مرن معزول بتفريغ الهواء: يتكون من خراطيم مرنة و/أو أنابيب معزولة بتفريغ الهواء، وخراطيم توصيل، ونظام صمامات معزولة بتفريغ الهواء، وفواصل طورية، ونظام مضخة تفريغ ديناميكي (يشمل مضخات التفريغ، والصمامات اللولبية، ومقاييس التفريغ، إلخ). يمكن تخصيص طول الخرطوم المرن الواحد وفقًا لمتطلبات المستخدم.
11. أنواع توصيل متنوعة: يمكن اختيار نوع التوصيل الفراغي ذي الحربة (VBC) والتوصيل الملحوم. لا يحتاج نوع VBC إلى معالجة عازلة في الموقع.