تعتبر الحزمة الجزيئية Epitaxy (MBE) تقنية دقيقة للغاية تستخدم لتصنيع الأفلام الرقيقة والهياكل النانوية لمختلف التطبيقات ، بما في ذلك أجهزة أشباه الموصلات ، والإلكترونات الضوئية ، والحوسبة الكمومية. أحد التحديات الرئيسية في أنظمة MBE هو الحفاظ على درجات حرارة منخفضة للغاية ، وهو المكانأنبوب مغطى بالفراغS (VJP) تأتي في اللعب. هذه الأنابيب المتقدمة ضرورية لضمان التحكم الحراري في غرف MBE ، مما يجعلها مكونًا لا غنى عنه في تحقيق نمو عالي الجودة للمواد على المستوى الذري.

ما هو الحزمة الجزيئية epitaxy (MBE)؟

MBE هي تقنية ترسب تتضمن الترسب المتحكم في الحزم الذرية أو الجزيئية على الركيزة في بيئة عالية الفلز. تتطلب العملية التحكم الدقيق في درجة الحرارة لتحقيق خصائص المواد المطلوبة ، مما يجعل الإدارة الحرارية عاملاً حاسماً. في أنظمة MBE ،أنابيب مغطاة فراغتستخدم لحمل السوائل والغازات المبردة ، مما يضمن بقاء الركيزة في درجة الحرارة المناسبة أثناء عملية الترسب.