مشروع تشيب إم بي إي المكتمل في السنوات الماضية

تكنولوجيا

الترسيب الجزيئي الشعاعي، أو MBE، تقنية حديثة لنمو أغشية رقيقة عالية الجودة من البلورات على ركائز بلورية. في ظروف فراغ فائق، وباستخدام موقد تسخين مزود بجميع المكونات اللازمة لتوليد البخار، يتم حقن حزمة ذرية أو جزيئية مباشرة عبر ثقوب مُشكّلة بعد تجميعها، عند درجة حرارة مناسبة، على ركيزة بلورية أحادية. في الوقت نفسه، يتم التحكم في مسح الركيزة بالحزمة الجزيئية، مما يسمح بنمو الجزيئات أو الذرات في طبقات متراصة لتشكيل غشاء رقيق على الركيزة.

لضمان التشغيل السليم لمعدات MBE، يلزم نقل النيتروجين السائل عالي النقاء، منخفض الضغط، وفائق النظافة، بشكل مستمر ومستقر إلى حجرة التبريد. عادةً، يتراوح ضغط مخرج خزان النيتروجين السائل بين 0.3 و0.8 ميجا باسكال. يتبخر النيتروجين السائل عند درجة حرارة -196 درجة مئوية بسهولة أثناء نقله عبر الأنابيب. عند تبخر النيتروجين السائل بنسبة غاز إلى سائل تبلغ حوالي 1:700 في الأنابيب، فإنه يشغل حيزًا كبيرًا من تدفق النيتروجين السائل، مما يقلل من التدفق الطبيعي في نهاية خط أنابيب النيتروجين السائل. إضافةً إلى ذلك، من المحتمل وجود رواسب غير مُنظفة في خزان تخزين النيتروجين السائل. كما أن وجود الهواء الرطب في خط أنابيب النيتروجين السائل يؤدي إلى تكوّن رواسب جليدية. في حال تسرب هذه الشوائب إلى المعدات، فإنها ستتسبب في أضرار غير متوقعة.

لذلك، يتم نقل النيتروجين السائل الموجود في خزان التخزين الخارجي إلى معدات MBE في ورشة العمل الخالية من الغبار بكفاءة عالية واستقرار ونظافة، وبضغط منخفض، وبدون نيتروجين أو شوائب، وعلى مدار 24 ساعة دون انقطاع، فإن نظام التحكم في النقل هذا هو منتج مؤهل.

tcm (4)
tcm (1)
tcm (3)

معدات MBE المتوافقة

منذ عام ٢٠٠٥، تعمل شركة HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) على تحسين وتطوير هذا النظام، وتتعاون مع مصنّعي معدات MBE العالميين. تربط مصنّعي معدات MBE، بما في ذلك DCA وREBER، علاقات تعاون مع شركتنا، وقد تعاونوا في عدد كبير من المشاريع.

تُعدّ شركة Riber SA مزودًا عالميًا رائدًا لمنتجات وخدمات الترسيب الجزيئي الشعاعي (MBE) لأبحاث أشباه الموصلات المركبة والتطبيقات الصناعية. يتميز جهاز Riber MBE بقدرته على ترسيب طبقات رقيقة جدًا من المواد على الركيزة، مع تحكم دقيق للغاية. تم تجهيز معدات التفريغ التابعة لشركة HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) بأجهزة Riber SA، حيث يُعدّ جهاز Riber 6000 الأكبر حجمًا، بينما يُعدّ جهاز Compact 21 الأصغر. جميع الأجهزة بحالة جيدة وحائزة على تقدير العملاء.

تُعدّ شركة DCA رائدة عالميًا في مجال تقنية الترسيب الجزيئي الشعاعي (MBE) للأكاسيد. ومنذ عام 1993، شهدت الشركة تطورًا منهجيًا في تقنيات الأكسدة، وتسخين الركائز المضادة للأكسدة، ومصادر مضادات الأكسدة. ولهذا السبب، اختارت العديد من المختبرات الرائدة تقنية DCA للأكاسيد. وتُستخدم أنظمة MBE لأشباه الموصلات المركبة في جميع أنحاء العالم. ويتمتع نظام VJ لتدوير النيتروجين السائل من شركة HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) ومعدات MBE من طرازات DCA المتعددة بخبرة واسعة في العديد من المشاريع، مثل الطرازات P600 وR450 وSGC800 وغيرها.

tcm (2)

جدول الأداء

معهد شنغهاي للفيزياء التقنية، الأكاديمية الصينية للعلوم
المعهد الحادي عشر لشركة تكنولوجيا الإلكترونيات الصينية
معهد أشباه الموصلات، الأكاديمية الصينية للعلوم
هواوي
أكاديمية علي بابا دامو
شركة باور تك للتكنولوجيا
شركة دلتا للإلكترونيات
شركة سوتشو إيفر برايت فوتونيكس

تاريخ النشر: 26 مايو 2021