تعتبر Epitaxy الحزمة الجزيئية ، أو MBE ، تقنية جديدة لتنمية أفلام رقيقة عالية الجودة من البلورات على ركائز البلورة. في ظروف الفراغ عالية الفائق ، تم تجهيز موقد التدفئة بجميع أنواع المكونات المطلوبة وتوليد البخار ، من خلال الثقوب التي تشكلت بعد موازنة الشعاع الذري أو الجزيئي ، الحقن المباشر إلى درجة الحرارة المناسبة للركيزة البلورية المفردة ، والتحكم في الحزمة الجزيئية إلى المسح الضوئي في الركيزة في نفس الوقت ، يمكن أن يجعل الجزيئات أو الذرات في طبقات محاذاة البلورة لتشكيل فيلم رفيع على "نمو" الركيزة.

بالنسبة للتشغيل العادي لمعدات MBE ، يلزم نقل النقاء العالي والضغط المنخفض والنيتروجين السائل فائقة النظيف بشكل مستمر ومثبت إلى غرفة تبريد المعدات. بشكل عام ، فإن الخزان الذي يوفر النيتروجين السائل له ضغط إخراج يتراوح بين 0.3 ميجا باسكال و 0.8 ميجا باسكال. يمكن تبخير النيتروجين السائل عند -196 ℃ بسهولة في النيتروجين أثناء نقل خط الأنابيب. بمجرد أن يتم غاز النيتروجين السائل مع نسبة الغاز السائل حوالي 1: 700 في خط الأنابيب ، فإنه سيشغل كمية كبيرة من مساحة تدفق النيتروجين السائل وتقليل التدفق الطبيعي في نهاية خط أنابيب النيتروجين السائل. بالإضافة إلى ذلك ، في خزان تخزين النيتروجين السائل ، من المحتمل أن يكون هناك حطام لم يتم تنظيفه. في خط أنابيب النيتروجين السائل ، سيؤدي وجود الهواء الرطب أيضًا إلى توليد الخبث الجليدي. إذا تم تفريغ هذه الشوائب في المعدات ، فسيؤدي ذلك إلى أضرار غير متوقعة للمعدات.

لذلك ، يتم نقل النيتروجين السائل في خزان التخزين في الهواء الطلق إلى معدات MBE في ورشة عمل خالية من الغبار مع كفاءة عالية ، والاستقرار والضغط المنخفض ، ولا النيتروجين ، ولا شوائب ، 24 ساعة دون انقطاع ، نظام التحكم في النقل هذا هو منتج مؤهل.