الأخبار - تم الانتهاء من مشروع Chip MBE في السنوات الماضية

تكنولوجيا

تعد تقنية الشعاع الجزيئي، أو MBE، تقنية جديدة لزراعة أغشية رقيقة عالية الجودة من البلورات على ركائز بلورية. في ظروف الفراغ العالية للغاية، يتم تجهيز موقد التسخين بجميع أنواع المكونات المطلوبة وتوليد البخار، من خلال الثقوب التي تشكلت بعد موازنة الشعاع الذري أو الجزيئي، والحقن المباشر إلى درجة الحرارة المناسبة للركيزة البلورية المفردة، والتحكم في الشعاع الجزيئي ل مسح الركيزة في نفس الوقت، يمكن أن يجعل الجزيئات أو الذرات في طبقات المحاذاة البلورية تشكل طبقة رقيقة على "نمو" الركيزة.

من أجل التشغيل العادي لمعدات MBE، يلزم نقل النقاء العالي والضغط المنخفض والنيتروجين السائل فائق النقاء بشكل مستمر وثابت إلى غرفة التبريد الخاصة بالمعدات. بشكل عام، الخزان الذي يوفر النيتروجين السائل لديه ضغط إخراج يتراوح بين 0.3MPa و0.8MPa. يتم تبخير النيتروجين السائل عند -196 درجة مئوية بسهولة إلى نيتروجين أثناء النقل عبر خطوط الأنابيب. بمجرد تحويل النيتروجين السائل بنسبة غاز إلى سائل تبلغ حوالي 1:700 إلى غاز في خط الأنابيب، فإنه سيشغل كمية كبيرة من مساحة تدفق النيتروجين السائل ويقلل التدفق الطبيعي في نهاية خط أنابيب النيتروجين السائل. بالإضافة إلى ذلك، في خزان النيتروجين السائل، من المحتمل أن يكون هناك حطام لم يتم تنظيفه. في خط أنابيب النيتروجين السائل، سيؤدي وجود الهواء الرطب أيضًا إلى توليد خبث الجليد. إذا تم تفريغ هذه الشوائب في المعدات، فسوف يتسبب ذلك في تلف المعدات بشكل غير متوقع.

لذلك، يتم نقل النيتروجين السائل الموجود في خزان التخزين الخارجي إلى معدات MBE في ورشة العمل الخالية من الغبار بكفاءة عالية واستقرار ونظافة، والضغط المنخفض، بدون نيتروجين، بدون شوائب، 24 ساعة دون انقطاع، نظام التحكم في النقل هذا هو منتج مؤهل.

مطابقة معدات MBE

منذ عام 2005، تعمل شركة HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) على تحسين هذا النظام وتحسينه والتعاون مع الشركات المصنعة لمعدات MBE الدولية. الشركات المصنعة للمعدات MBE، بما في ذلك DCA، REBER، لديها علاقات تعاون مع شركتنا. وقد تعاونت الشركات المصنعة للمعدات MBE، بما في ذلك DCA وREBER، في عدد كبير من المشاريع.

تعتبر شركة Riber SA إحدى الشركات العالمية الرائدة في مجال توفير منتجات فحص الشعاع الجزيئي (MBE) والخدمات ذات الصلة لأبحاث أشباه الموصلات المركبة والتطبيقات الصناعية. يمكن لجهاز Riber MBE وضع طبقات رقيقة جدًا من المواد على الركيزة، مع ضوابط عالية جدًا. تم تجهيز معدات التفريغ الخاصة بـ HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) بـ Riber SA. أكبر المعدات هو Riber 6000 وأصغرها هو Compact 21. وهي في حالة جيدة وقد تم الاعتراف بها من قبل العملاء.

DCA هو أكسيد MBE الرائد في العالم. منذ عام 1993، تم إجراء التطوير المنهجي لتقنيات الأكسدة وتسخين الركيزة المضادة للأكسدة ومصادر مضادات الأكسدة. ولهذا السبب، اختارت العديد من المختبرات الرائدة تقنية أكسيد DCA. تُستخدم أنظمة MBE المركبة لأشباه الموصلات في جميع أنحاء العالم. يتمتع نظام تدوير النيتروجين السائل VJ لمعدات التبريد HL (HL CRYO) ومعدات MBE لنماذج متعددة من DCA بالخبرة المطابقة في العديد من المشاريع، مثل الموديل P600، R450، SGC800 وما إلى ذلك.