تكنولوجيا
التراكب الشعاعي الجزيئي (MBE) هو تقنية جديدة لتكوين أغشية رقيقة عالية الجودة من البلورات على ركائز بلورية. في ظروف الفراغ العالي جدًا، يتم استخدام موقد تسخين مزود بجميع المكونات اللازمة لتوليد البخار، ومن خلال ثقوب تتشكل بعد تجميع حزمة ذرية أو جزيئية، يتم الحقن المباشر للركيزة البلورية المفردة إلى درجة الحرارة المناسبة، مع التحكم في مسح الحزمة الجزيئية للركيزة، مما يسمح للجزيئات أو الذرات في طبقات البلورات المتراصة بتكوين غشاء رقيق على "نمو" الركيزة.
للتشغيل العادي لمعدات MBE، يلزم نقل النيتروجين السائل عالي النقاء ومنخفض الضغط وفائق النظافة باستمرار وثبات إلى حجرة التبريد الخاصة بالمعدات. بشكل عام، يتراوح ضغط خرج خزان النيتروجين السائل بين 0.3 ميجا باسكال و0.8 ميجا باسكال. يتبخر النيتروجين السائل عند درجة حرارة -196 درجة مئوية بسهولة إلى نيتروجين أثناء نقله عبر الأنابيب. بمجرد تحويل النيتروجين السائل بنسبة غاز إلى سائل تبلغ حوالي 1:700 إلى غاز في خط الأنابيب، فإنه سيشغل مساحة كبيرة من تدفق النيتروجين السائل ويقلل من التدفق الطبيعي في نهاية خط أنابيب النيتروجين السائل. بالإضافة إلى ذلك، من المحتمل وجود حطام لم يتم تنظيفه في خزان تخزين النيتروجين السائل. سيؤدي وجود الهواء الرطب في خط أنابيب النيتروجين السائل أيضًا إلى تكوين خبث الجليد. إذا تم تصريف هذه الشوائب في المعدات، فسوف يتسبب ذلك في أضرار غير متوقعة للمعدات.
لذلك، يتم نقل النيتروجين السائل الموجود في خزان التخزين الخارجي إلى معدات MBE في ورشة العمل الخالية من الغبار بكفاءة عالية واستقرار ونظافة، وضغط منخفض، ولا نيتروجين، ولا شوائب، 24 ساعة دون انقطاع، نظام التحكم في النقل هذا هو منتج مؤهل.



معدات MBE المطابقة
منذ عام ٢٠٠٥، دأبت شركة HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) على تحسين هذا النظام وتطويره، وتتعاون مع شركات تصنيع معدات MBE العالمية. وتتمتع شركات تصنيع معدات MBE، بما في ذلك DCA وREBER، بعلاقات تعاون مع شركتنا. كما تعاونت شركات تصنيع معدات MBE، بما في ذلك DCA وREBER، في عدد كبير من المشاريع.
شركة ريبر إس إيه (Riber SA) هي شركة عالمية رائدة في توفير منتجات ترسيب الحزم الجزيئية (MBE) والخدمات ذات الصلة لأبحاث أشباه الموصلات المركبة والتطبيقات الصناعية. يتميز جهاز ريبر إم بي إي بقدرته على ترسيب طبقات رقيقة جدًا من المواد على الركيزة، مع تحكم دقيق للغاية. معدات التفريغ الخاصة بشركة إتش إل كريو (HL CRYO) مزودة بجهاز ريبر إس إيه (Riber SA). أكبر جهاز هو ريبر 6000، وأصغر جهاز هو كومباكت 21. الجهاز في حالة جيدة، وقد نال استحسان العملاء.
DCA هي الشركة الرائدة عالميًا في مجال أكسيد MBE. منذ عام ١٩٩٣، جرى تطوير منهجي لتقنيات الأكسدة، وتسخين ركائز مضادات الأكسدة، ومصادر مضادات الأكسدة. ولذلك، اختارت العديد من المختبرات الرائدة تقنية أكسيد DCA. تُستخدم أنظمة MBE لأشباه الموصلات المركبة حول العالم. يتمتع نظام تداول النيتروجين السائل VJ من شركة HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) ومعدات MBE من طرازات DCA المتعددة بخبرة مطابقة في العديد من المشاريع، مثل طرازات P600 وR450 وSGC800 وغيرها.

جدول الأداء
معهد شنغهاي للفيزياء التقنية، الأكاديمية الصينية للعلوم |
المعهد الحادي عشر لشركة تكنولوجيا الإلكترونيات الصينية |
معهد أشباه الموصلات، الأكاديمية الصينية للعلوم |
هواوي |
أكاديمية علي بابا دامو |
شركة باورتك للتكنولوجيا |
شركة دلتا للإلكترونيات |
سوتشو إيفربرايت فوتونيكس |
وقت النشر: ٢٦ مايو ٢٠٢١