موجز من الحزمة الجزيئية epitaxy (MBE)
تم تطوير تكنولوجيا الحزمة الجزيئية Epitaxy (MBE) في الخمسينيات من القرن الماضي لإعداد مواد فيلم رقيقة أشباه الموصلات باستخدام تقنية تبخر الفراغ. مع تطوير تكنولوجيا الفراغ الفائقة ، تم تمديد تطبيق التكنولوجيا إلى مجال علوم أشباه الموصلات.
الدافع وراء أبحاث مواد أشباه الموصلات هو الطلب على الأجهزة الجديدة ، والتي قد تحسن أداء النظام. في المقابل ، قد تنتج تكنولوجيا المواد الجديدة معدات جديدة وتكنولوجيا جديدة. تعتبر الحزمة الجزيئية Epitaxy (MBE) تقنية فراغ عالية لنمو الطبقة الفوقية (عادةً أشباه الموصلات). يستخدم شعاع الحرارة لذرات المصدر أو الجزيئات التي تؤثر على الركيزة البلورية المفردة. تتيح خصائص الفراغ الفائقة للعملية المعادن في الموقع ونمو المواد العازلة على أسطح أشباه الموصلات المزروعة حديثًا ، مما يؤدي إلى واجهات خالية من التلوث.
تقنية MBE
تم تنفيذ الحزمة الجزيئية epitaxy في فراغ عالية أو فراغ عالي العالي (1 × 10-8PA) البيئة. الجانب الأكثر أهمية في Epitaxy الحزمة الجزيئية هو معدل الترسيب المنخفض ، والذي يسمح عادة للفيلم بالنمو الفوقي بمعدل أقل من 3000 نانومتر في الساعة. يتطلب معدل الترسيب المنخفض هذا فراغًا مرتفعًا بما يكفي لتحقيق نفس مستوى النظافة مثل طرق الترسب الأخرى.
لتلبية الفراغ العالي الفائق الموصوفة أعلاه ، يحتوي جهاز MBE （Knudsen cell） على طبقة تبريد ، ويجب الحفاظ على بيئة الفراغ الفائقة لغرفة النمو باستخدام نظام تداول النيتروجين السائل. يبرد النيتروجين السائل درجة الحرارة الداخلية للجهاز إلى 77 كلفن (-196 درجة مئوية). يمكن أن تقلل بيئة درجة الحرارة المنخفضة من محتوى الشوائب في الفراغ وتوفر ظروفًا أفضل لترسيب الأفلام الرقيقة. لذلك ، يلزم نظام تدوير تبريد النيتروجين السائل المخصص لمعدات MBE لتوفير إمدادات مستمرة وثابتة من النيتروجين السائل -196 درجة مئوية.
نظام تدوير تبريد النيتروجين السائل
يشمل نظام تدوير تبريد النيتروجين السائل الفراغ بشكل أساسي ،
● الخزان المبرد
®
● فاصل طور خاص MBE وأنبوب العادم المغطى بالفراغ
● الصمامات المغطاة بالفراغ المختلفة
● حاجز الغاز السائل
● مرشح مغطى بالفراغ
● نظام مضخة الفراغ الديناميكي
● نظام مسبق وتطهير إعادة التسخين
لاحظت شركة HL Cryogenic Equipment طلب نظام تبريد النيتروجين السائل MBE ، والعمود الفني الفني المنظم لتطوير نظام MBE السائل النيتروجين الخاص بنجاح لتكنولوجيا MBE ومجموعة كاملة من الحماس الفراغedنظام الأنابيب ، الذي تم استخدامه في العديد من المؤسسات والجامعات ومعاهد البحوث.
HL المعدات المبردة
HL Cryogenic Equipment التي تأسست في عام 1992 هي علامة تجارية تابعة لشركة Chengdu Holy Cryogenic Equipment في الصين. تلتزم معدات HL المبردة بتصميم وتصنيع نظام الأنابيب المبردة المعزول عالية الفراغ ومعدات الدعم ذات الصلة.
لمزيد من المعلومات ، يرجى زيارة الموقع الرسميwww.hlcryo.comأو البريد الإلكتروني إلىinfo@cdholy.com.
وقت النشر: May-06-2021
