نبذة عن الترابط الجزيئي الحزمي (MBE)
طُوّرت تقنية الترابط الشعاعي الجزيئي (MBE) في خمسينيات القرن الماضي لتحضير مواد أغشية رقيقة من أشباه الموصلات باستخدام تقنية التبخير الفراغي. ومع تطور تقنية التفريغ الفائق، اتسع نطاق تطبيق هذه التقنية ليشمل مجال علوم أشباه الموصلات.
إن دافع أبحاث مواد أشباه الموصلات هو الطلب على أجهزة جديدة، مما قد يُحسّن أداء النظام. وفي المقابل، قد تُنتج تقنيات المواد الجديدة معدات وتقنيات جديدة. تُعد تقنية التكثيف الشعاعي الجزيئي (MBE) تقنية عالية الفراغ لنمو الطبقة التكثيفية (عادةً ما تكون أشباه موصلات). تستخدم هذه التقنية شعاعًا حراريًا من ذرات أو جزيئات المصدر التي تصطدم بركيزة بلورية أحادية. تسمح خصائص التكثيف الشعاعي الفائق لهذه العملية بالتعدين في الموقع ونمو المواد العازلة على أسطح أشباه الموصلات حديثة النمو، مما ينتج عنه أسطح بينية خالية من التلوث.


تكنولوجيا MBE
تم إجراء عملية ترسيب الحزمة الجزيئية في فراغ عالي أو فراغ فائق الارتفاع (1 × 10-8البيئة (باسكال). أهم جانب في عملية ترسيب الحزمة الجزيئية هو معدل ترسيبها المنخفض، والذي يسمح عادةً للفيلم بالنمو التراكمي بمعدل أقل من 3000 نانومتر في الساعة. يتطلب هذا المعدل المنخفض من الترسيب فراغًا كافيًا لتحقيق نفس مستوى النظافة الذي تحققه طرق الترسيب الأخرى.
لتلبية متطلبات الفراغ العالي الموصوفة أعلاه، يحتوي جهاز MBE (خلية كنودسن) على طبقة تبريد، ويجب الحفاظ على بيئة الفراغ العالي لغرفة النمو باستخدام نظام تدوير النيتروجين السائل. يُبرّد النيتروجين السائل درجة الحرارة الداخلية للجهاز إلى 77 كلفن (-196 درجة مئوية). تُقلّل هذه البيئة منخفضة الحرارة من محتوى الشوائب في الفراغ، وتُوفّر ظروفًا أفضل لترسيب الأغشية الرقيقة. لذلك، يلزم وجود نظام تدوير تبريد مخصص بالنيتروجين السائل لجهاز MBE لتوفير إمداد مستمر وثابت من النيتروجين السائل بدرجة حرارة -196 درجة مئوية.
نظام تبريد النيتروجين السائل
يشتمل نظام تبريد النيتروجين السائل الفراغي بشكل أساسي على ما يلي،
● خزان التبريد
● الأنبوب الرئيسي والفرعي المغلف بالفراغ / الخرطوم المغلف بالفراغ
● فاصل طور خاص MBE وأنبوب عادم مغلف بالفراغ
● صمامات مغلفة بالفراغ متنوعة
● حاجز الغاز السائل
● مرشح مغلف بالفراغ
● نظام مضخة التفريغ الديناميكي
● نظام التبريد المسبق وإعادة التسخين بالتطهير
لاحظت شركة HL Cryogenic Equipment Company الطلب على نظام تبريد النيتروجين السائل MBE، ونظمت العمود الفقري التقني لتطوير نظام تبريد النيتروجين السائل MBE الخاص بنجاح لتكنولوجيا MBE ومجموعة كاملة من العزل الفراغيedنظام الأنابيب، الذي تم استخدامه في العديد من المؤسسات والجامعات ومعاهد البحوث.


معدات التبريد عالي الكفاءة
تأسست شركة HL Cryogenic Equipment عام ١٩٩٢، وهي علامة تجارية تابعة لشركة Chengdu Holy Cryogenic Equipment في الصين. تلتزم HL Cryogenic Equipment بتصميم وتصنيع أنظمة الأنابيب المبردة المعزولة عالية التفريغ ومعدات الدعم ذات الصلة.
لمزيد من المعلومات يرجى زيارة الموقع الرسميwww.hlcryo.comأو أرسل بريدًا إلكترونيًا إلىinfo@cdholy.com.
وقت النشر: 6 مايو 2021