موجز عن تنضيد الشعاع الجزيئي (MBE)
تم تطوير تقنية الشعاع الجزيئي (MBE) في الخمسينيات من القرن الماضي لتحضير مواد رقيقة من أشباه الموصلات باستخدام تقنية التبخر الفراغي. مع تطور تكنولوجيا التفريغ الفائق، تم توسيع تطبيق التكنولوجيا ليشمل مجال علوم أشباه الموصلات.
الدافع وراء أبحاث مواد أشباه الموصلات هو الطلب على أجهزة جديدة، مما قد يؤدي إلى تحسين أداء النظام. وفي المقابل، قد تنتج تكنولوجيا المواد الجديدة معدات جديدة وتكنولوجيا جديدة. تنضيد الشعاع الجزيئي (MBE) عبارة عن تقنية فراغ عالية لنمو الطبقة الفوقية (عادةً أشباه الموصلات). ويستخدم شعاع الحرارة من ذرات المصدر أو الجزيئات التي تؤثر على الركيزة البلورية المفردة. تسمح خصائص الفراغ العالية جدًا للعملية بالتعدين في الموقع ونمو المواد العازلة على أسطح أشباه الموصلات المزروعة حديثًا، مما يؤدي إلى واجهات خالية من التلوث.
تقنية إم بي إي
تم إجراء تنضيد الشعاع الجزيئي في فراغ عالي أو فراغ عالي جدًا (1 × 10-8باسكال) البيئة. الجانب الأكثر أهمية في تنقيح الحزمة الجزيئية هو معدل الترسيب المنخفض، والذي عادة ما يسمح للفيلم بالنمو الفوقي بمعدل أقل من 3000 نانومتر في الساعة. يتطلب معدل الترسيب المنخفض هذا فراغًا عاليًا بدرجة كافية لتحقيق نفس مستوى النظافة مثل طرق الترسيب الأخرى.
لتلبية الفراغ العالي للغاية الموصوف أعلاه، يحتوي جهاز MBE (خلية كنودسن) على طبقة تبريد، ويجب الحفاظ على بيئة الفراغ العالية جدًا لغرفة النمو باستخدام نظام تدوير النيتروجين السائل. يقوم النيتروجين السائل بتبريد درجة الحرارة الداخلية للجهاز إلى 77 كلفن (−196 درجة مئوية). يمكن لبيئة درجة الحرارة المنخفضة أن تقلل من محتوى الشوائب في الفراغ وتوفر ظروفًا أفضل لترسيب الأغشية الرقيقة. ولذلك، يلزم وجود نظام مخصص لتدوير تبريد النيتروجين السائل لمعدات MBE لتوفير إمداد مستمر وثابت للنيتروجين السائل -196 درجة مئوية.
نظام تداول تبريد النيتروجين السائل
يتضمن نظام تدوير تبريد النيتروجين السائل الفراغي بشكل أساسي،
● الخزان المبرد
● الأنابيب الرئيسية والفرعية المغلفة بالتفريغ / خرطوم مغلف بالتفريغ
● فاصل الطور الخاص MBE وأنبوب العادم المغلف بالتفريغ
● مختلف الصمامات المغلفة فراغ
● حاجز الغاز السائل
● مرشح مغلف بالفراغ
● نظام مضخة فراغ ديناميكية
● نظام التبريد المسبق والتطهير وإعادة التسخين
لاحظت شركة HL Cryogenic Equipment Company الطلب على نظام تبريد النيتروجين السائل MBE، وهو العمود الفقري الفني المنظم لتطوير نظام تبريد خاص بالنيتروجين السائل MBE لتكنولوجيا MBE ومجموعة كاملة من العزل الفراغي بنجاح.edنظام الأنابيب، والذي تم استخدامه في العديد من المؤسسات والجامعات ومعاهد البحوث.
معدات التبريد HL
تأسست شركة HL Cryogenic Equipment في عام 1992، وهي علامة تجارية تابعة لشركة Chengdu Holy Cryogenic Equipment Company في الصين. تلتزم شركة HL Cryogenic Equipment بتصميم وتصنيع نظام الأنابيب المبردة المعزولة بالفراغ العالي ومعدات الدعم ذات الصلة.
لمزيد من المعلومات، يرجى زيارة الموقع الرسميwww.hlcryo.com، أو إرسال بريد إلكتروني إلىinfo@cdholy.com.
وقت النشر: 06 مايو 2021
